裁判[][][]使用接口和兩個外部中止 。.驅(qū)動.英特爾談可能使用：兩種光刻技術(shù)設(shè)計規(guī)則兼容月日新聞.英特爾并未在（英特爾神池工大會）上明確其先輩節(jié)點是不是會引入光刻臺積電美國三座晶圓廠開建