主  。然而這種金屬硅提煉歷程中孕育發(fā)生的四氯化硅有強(qiáng)腐化性 、林良急毒性.又難生存.因而凈化最為嚴(yán)峻 。從金屬硅中提純出的多晶硅片處置懲罰又要泯滅年夜量電能 。針對(duì)這種高凈化